基于MEMS技术的加速度测量组合装置

• 作者: 乔大勇 苑伟政 虞益挺
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS ADXL202 硅微型加速度计 加速度测量组合装置
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TH842
• 字数: 1306字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.01.010

摘要

在研究基于MEMS技术的叉指式硅微型加速度计工作原理的基础上,制订了加速度二维测量组合装置的系统方案,设计了系统电路,研制和开发系统装置,讨论了系统抗干扰问题.最后,通过单片机及VB串口通信编程,实现装置与计算机的实时串口通信,直观地展现了加速度及位移的变化规律.