双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究

• 作者: 曲伟
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 双光栅干涉仪 莫尔条纹 位移传感器
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 22-23,26
• 页数: 3页
• 分类号: O436.1
• 字数: 1521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.10.008

摘要

为了检定高准确度位移传感器、几何量计量定位、微细加工测量,同时,也测量那些可以转换为微位移或光程差的其它物理量.基于双光栅干涉仪原理,设计了一种数字式位移传感器,对该装置进行了理论分析和计算机模拟,实验验证:该测量装置的绝对误差不大于0.019μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲伟	黑龙江大学电子工程学院	16	49	4.0	6.0