刻线镍膜上沉积的碳纳米管场发射特性

• 作者: 姚宁 张兵临 杨仕娥 樊志琴 邓记才 马丙现 鲁占灵
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳纳米管 微波等离子体化学气相沉积 场发射 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 743-747
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.06.025

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法,在刻线的镍膜上沉积碳纳米管膜.通过SEM和拉曼光谱表征,讨论了催化剂厚度、制备温度、反应时间以及甲烷浓度对碳纳米管场发射的影响.结果表明:不同条件下制备的碳纳米管的场发射性能有很大差异,保持氢气的流量(100 sccm)不变,当甲烷流量为5 sccm、生长时间为5 min、催化剂膜厚为150 nm、温度为700～800℃时,场发射性能最好,开启场强为1.3 V/μm,最大发射电流达到6.8 mA/cm2.