基于专家系统技术的MEMS虚拟工艺库

• 作者: 任亮 卢桂章 李亚威 赵新
• 来源期刊: 信息与控制
• 关键词: 虚拟工艺 专家系统 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综论与介绍
• 页码范围: 52-55，60
• 页数: 5页
• 分类号: TP13
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0411.2004.01.012

摘要

虚拟工艺是MEMS器件计算机辅助设计中对工艺过程仿真的部分,根据版图设计、层定义和工艺文件来生成器件模型,并进行三维模型显示.本文在虚拟工艺库中引入了专家系统的技术,将已有的工艺知识分别描述成专家系统知识库中的规则,推理机部分与知识库分离,使系统有较好的可扩充性.本文给出了一个剖面图的实例,证明其可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢桂章	南开大学机器人与信息自动化研究所	86	1727	19.0	39.0
2	赵新	南开大学机器人与信息自动化研究所	57	583	11.0	21.0
3	李亚威	南开大学机器人与信息自动化研究所	3	19	3.0	3.0
4	任亮	南开大学机器人与信息自动化研究所	4	19	3.0	4.0