等效模型分析微机械薄膜谐振器的力学特性

• 作者: 李炳乾
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 等效模型 微悬臂梁 薄膜谐振器 固有频率
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 61-63
• 页数: 3页
• 分类号: TN402|TN405
• 字数: 1985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.11.022

摘要

通过引入折合的概念,将多层微机械谐振悬臂梁等效为单层结构,建立了多层微悬臂梁的弯曲振动方程,结合边界条件求出了微悬臂梁的固有频率.等效概念的引入大大简化了多层微机械谐振器件振动特性的理论分析过程,与传统只考虑绝对占优层的方法相比,等效模型不仅更加精确,而且突出了多层微机械谐振梁中的主要矛盾,为多层微机械谐振式器件的结构优化设计奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李炳乾	佛山科技学院物理系	7	101	4.0	7.0