氟掺杂的氧化锌薄膜的结构和光学特性

• 作者: 刘益春 吕有明 张吉英 徐海阳 申德振 范希武 马剑钢 骆英民
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO:F X射线衍射 X射线光电子能谱 光致发光
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 519-523
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3|O482.31
• 字数: 3721字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.05.010

摘要

通过热氧化氟化锌(ZnF2)薄膜的方法制备出氟掺杂的多晶ZnO薄膜,ZnF2薄膜是利用电子束蒸发方法沉积在Si(100)衬底得到的.利用X射线衍射和X射线电子能谱研究了ZnF2薄膜向ZnO的转变过程.实验结果表明,在400℃退火30 min的条件下能够获得六方纤锌矿结构的ZnO:F薄膜.对ZnO:F薄膜的室温光致发光谱可以观察到位于379 am、半峰全宽为73 meV的紫外发射峰,而相应于缺陷的深能级发射则完全猝灭.表明ZnO中残留的F能够有效地增强激子的发光,同时使缺陷发光强度明显降低.对F掺杂对ZnO的发光性能的影响进行了讨论.