亚微米、深亚微米LDD MOSFET的衬底电流模型中特征长度改进的描述

• 作者: 于春利 杨林安 郝跃
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 轻掺杂漏MOSFET 衬底电流 特征长度 最大横向电场
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1084-1090
• 页数: 7页
• 分类号: TN386
• 字数: 1215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.09.008

摘要

建立了衬底电流模型中特征长度参数的改进描述,该参数的引入使衬底电流模型能够有效地适用于从微米尺寸到亚微米、深亚微米尺寸的LDD MOSFET.在以双曲正切函数描述的I-V特性基础上,该解析模型的运算量远低于基于数值分析的物理模型,其中提取参数的运用也大大提高了模型的精度,模拟结果与实验数据有很好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	杨林安	西安电子科技大学微电子研究所	17	95	6.0	9.0
3	于春利	西安电子科技大学微电子研究所	8	63	4.0	7.0