6328(A)全反射介质膜真空镀膜工艺探讨

• 作者: 张钧 王玉平
• 来源期刊: 真空
• 学科: 社会科学
• 关键词: 镀膜 薄膜光学 固膜 蒸镀参数 柱体
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: G230
• 字数: 2929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2004.05.014

摘要

阐述了6328(A)全反射介质膜的镀膜原理和实际镀膜工艺,分析了镀膜后必须进行固膜的原因,并给出了镀制6328全反射介质膜的蒸镀参数和经过固膜后的测量结果分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉平	河北理工大学轻工学院	13	5	2.0	2.0
2	张钧	河北理工大学轻工学院	15	6	2.0	2.0