基于宽光谱扫描法的光学膜厚监控系统的研究

• 作者: 于继荣 王海峰 黄光周
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 滤光片 光电极值法 宽光谱扫描法
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2100字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.06.008

摘要

简要介绍了光学滤光片的制造与使用状况,讨论了获得高质量的光学滤光片的条件,简单分析常用方法中光电极值法的固有缺陷,提出一种基于宽光谱扫描法的膜厚控制系统,重点介绍其监控原理、硬件系统及其控制流程,并对其性能进行分析和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光周	华南理工大学电信学院物理电子与光电子系	26	189	9.0	13.0
2	于继荣	华南理工大学电信学院物理电子与光电子系	16	84	5.0	8.0
3	王海峰	华南理工大学电信学院物理电子与光电子系	2	8	1.0	2.0