多孔铂化硅红外探测器技术

• 作者: 熊平 邓光华
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 铂化硅 多孔硅 量子效率 探测器
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 423-425
• 页数: 3页
• 分类号: TN215
• 字数: 2411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.06.003

摘要

采用多孔PtSi结构是提高PtSi探测器量子效率的有效技术途径.介绍了一种高量子效率的PtSi红外探测器,即多孔PtSi红外探测器.叙述了这种探测器的制作方法及器件测试结果,并对测试结果进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊平		21	434	5.0	20.0
2	邓光华		8	38	2.0	6.0