油田测井用压力传感器的研制

• 作者: 姚素英 张生才 曲宏伟 赵毅强 赵红
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 油田测井 压力传感器 温度补偿
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 238-240
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.15
• 字数: 2336字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.02.015

摘要

油田测井用压力传感器在温度、量程和封装等方面有着特殊的要求,我们提出了一种新型多晶硅压力传感器,其工作温度高(-20～220°C),压力量程宽(2～30 MPa),具有较高的稳定度(<4×10-4FS/°C).文中多晶硅膜的零点温漂TCR 和灵敏度温漂TCS特性,给出了片内温度补偿的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲宏伟	天津大学电子信息工程学院	11	133	5.0	11.0
2	姚素英	天津大学电子信息工程学院	160	911	14.0	21.0
3	张生才	天津大学电子信息工程学院	41	316	11.0	15.0
4	赵毅强	天津大学电子信息工程学院	85	556	13.0	18.0
5	赵红		1	3	1.0	1.0