利用Ni催化型探测器测量原子氧密度

• 作者: 多树旺 李美栓
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子氧 Ni 探测器 原子氧密度
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 页码范围: 791-794
• 页数: 4页
• 分类号: TG216.5
• 字数: 2517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2004.08.002

摘要

利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30min,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化.发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关.当气压从10-3Pa-10-2Pa之间变化时原子氧密度在1016-1017/m3之间变化.采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致.