平面型埋栅结构的静电感应晶体管

• 作者: 李思渊 王永顺 胡冬青
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静电感应晶体管 平面型埋栅结构 阻断电压 限场环
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 126-132
• 页数: 7页
• 分类号: TN386.6
• 字数: 1028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.02.002

摘要

在表面栅和埋栅结构的基础上,提出了一种制造静电感应晶体管的新型结构,平面型埋栅结构.用普通的平面工艺实现了具有高击穿电压的埋栅结构,避免了工艺难度较大的二次外延和台面腐蚀工艺.实验结果表明该结构可用于制造各种功率静电感应器件,其优点是具有高的击穿电压和高的阻断增益,并讨论了平面型埋栅结构的主要特点和制造工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡冬青	兰州大学物理科学与技术学院静电感应器件研究所	7	67	5.0	7.0
2	李思渊	兰州大学物理科学与技术学院静电感应器件研究所	25	113	7.0	9.0
3	王永顺	兰州大学物理科学与技术学院静电感应器件研究所	8	67	5.0	8.0