低温等离子体技术制备有机薄膜的研究进展

• 作者: 杨隽 汪建华
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低温等离子体 有机薄膜 表面性质 应用
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 综述·专论
• 页码范围: 1-3,6
• 页数: 4页
• 分类号: TQ316.33
• 字数: 4503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2004.06.001

摘要

概述了利用低温等离子体技术制备有机薄膜的主要方法、特性、应用及研究现状,简要讨论了等离子体工艺条件对薄膜结构和性质的影响,介绍了现代分析技术对有机薄膜结构的表征,阐述了近年来对低温等离子体有机薄膜物理和化学性质,包括表面性质,渗透性,电学和光学性质等方面的研究新进展,并描述了其在工业生产上的一些应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉化工学院材料科学与工程学院	57	613	12.0	20.0
2	杨隽	中国科学院等离子体物理研究所	14	72	5.0	7.0