反应条件对氮(碳/氧)化硅薄膜性能的影响

• 作者: 储昭荣 吉小利 徐国财 李芬 王君
• 来源期刊: 化学与生物工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氮(碳/氧)化硅 反应条件 薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174.758|O484.4
• 字数: 3665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5425.2004.01.007

摘要

就氮(碳/氧)化硅薄膜的反应条件-组成和结构-性能之间关系的国内外研究进行了综述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李芬	安徽理工大学化工系	11	94	4.0	9.0
2	徐国财	安徽理工大学化工系	124	1239	19.0	30.0
3	王君	安徽理工大学化工系	61	695	15.0	24.0
4	吉小利	安徽理工大学化工系	39	430	11.0	20.0
5	储昭荣	安徽理工大学化工系	5	69	4.0	5.0