InP基微机械可调滤波器结构特性分析

• 作者: 任晓敏 周震 陈斌 黄永清
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 可调滤波器 悬臂
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 353-356,365
• 页数: 5页
• 分类号: TN491
• 字数: 3108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.05.007

摘要

介绍了一种由静电驱动的InP基微机械可调滤波器,通过模拟此结构中DBR的反射谱和法布里-珀罗(F-P)腔的透射谱分析了其滤波性能.用有限元方法分析了几种典型微机械结构的调制特性和顶镜的动态响应特性.比较了不同结构镜面的平整度行为.为InP基微机械F-P腔的设计优化提供了有效参数依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信中心	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信中心	189	942	13.0	18.0
3	周震	北京邮电大学光通信中心	13	39	3.0	5.0
4	陈斌	北京邮电大学光通信中心	27	158	7.0	10.0