空气中类原子力显微镜悬臂梁的微梁动力学分析

• 作者: ZHANG Xin 彭云峰 李瑰贤
• 来源期刊: 哈尔滨工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 动力学 液桥张力 JKR理论 颈缩现象
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 243-247
• 页数: 5页
• 分类号: TH117
• 字数: 2823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7043.2004.02.028

摘要

针对与原子力显微镜探针相似的微悬臂梁结构,利用宏观模拟微观的方法,研究了空气中微悬臂梁的动力学特性.首先,划分了微悬臂梁的振动阶段,并建立了振动过程中的动力学模型,然后利用JKR理论分析了微悬臂梁与基体表面发生接触变形的阶段.结果表明,空气中微悬臂梁的动力学特性分析应主要集中于存在液桥张力的阶段,并证实振动过程中基体表面有颈缩现象发生.最后,给出计算实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李瑰贤	哈尔滨工业大学机电学院	133	1551	22.0	28.0
2	彭云峰	哈尔滨工业大学机电学院	6	52	5.0	6.0