一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚

• 作者: 戎华 李伟华 聂萌 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面微加工 固支边界条件 锚 版图
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 707-710
• 页数: 4页
• 分类号: TB302
• 字数: 1628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.06.018

摘要

在MEMS领域,微梁广泛应用于各种器件及材料参数的提取中,但是由表面微加工工艺制成的单层台阶型锚,往往不能使微梁满足理想固支的边界条件,从而给器件设计和材料参数的提取带来较大的误差.为了解决这一问题,文中提出了一种结构新颖的锚,经Coventorwear软件模拟表明,该锚能提供接近理想固支的边界条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂萌	合肥工业大学理学院	2	20	2.0	2.0