衍射频谱法测光栅膜层厚度

• 作者: 文学金 曹向群 李何立 林斌
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 膜厚测量 相位光栅 傅立叶光学 衍射频谱
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 信息光学
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: O438.2|O484.5
• 字数: 2182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.05.014

摘要

根据傅立叶光学理论从光栅的衍射频谱中可以反推光栅本身的多种信息,包括其形貌特征.利用矩形相位光栅的傅立叶变换,推导出零级和一级衍射光强和矩形相位光栅膜层厚度之间的函数关系,据此可在测得零级和一级次光强后,推算出光栅膜层厚度.以台阶仪作为标准,该方法的测量误差在4%以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林斌		69	777	15.0	26.0
2	曹向群		35	283	8.0	16.0
3	李何立		1	3	1.0	1.0
4	文学金		1	3	1.0	1.0