磁控溅射有机衬底ZnO:SnO2透明导电膜的结构和光电特性

• 作者: 余旭浒 王玉恒 计峰 马洪磊 马瑾 黄树来
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 有机衬底 ZnO∶SnO薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 630-631,634
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2|TN304.055
• 字数: 2048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.05.034

摘要

采用磁控溅射技术在有机衬底上低温制备出具有低电阻率和良好附着性的ZnO∶SnO透明导电膜.研究了制备ZnO∶SnO薄膜的结构、成分和光电性质.制备薄膜为非晶结构,有机衬底ZnO∶SnO透明导电膜的最低电阻率约10-2Ω*cm,可见光平均透过率＞82%.薄膜中的氧偏离理想化学配比,氧空位是薄膜中载流子的主要来源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	计峰	山东大学物理与微电子学院	23	185	7.0	13.0
3	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
4	余旭浒	山东大学物理与微电子学院	11	144	6.0	11.0
5	黄树来	山东大学物理与微电子学院	5	72	4.0	5.0
6	王玉恒	山东大学物理与微电子学院	10	142	6.0	10.0