电阻式湿度传感器的制作方法

• 作者: S．Wendar 杨清风
• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 电阻式 紧凑 配置 制作方法 感应 速度 间隔 电极 薄膜
• 年，卷（期）: gwcgjs_2004,（5）
• 页码范围: 166-168
• 页数: 3页
• 分类号: TN873

摘要

现时，用于测量相对湿度的传感器有机械式、电阻式等多种。其中电阻式湿度传感器的感应速度较快，结构较紧凑，而且适应性也优于机械式传感器。其代表性产品如磺化聚苯乙烯薄膜式湿度传感器。就现有的电阻式湿度传感器而言，多采用与敏感层粘着方式，相互保持一定间隔，对所配置的一对薄电极间的电阻变化进行测量。一般感湿层的电阻都很高，或增大电极的对向面积，或缩小电极的间隔，以