射频微机械移相器

• 作者: 吕苗 娄建忠 杨瑞霞 胡小东 赵正平
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 移相器 分布式微机械传输线
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 专题报道(纳米电子与MEMES技术)
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TH703|TN623
• 字数: 1705字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.10.010

摘要

MEMS技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力.利用RF MEMS开关制造的RF MEMS移相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点,因此成为研究的热点.本文对国际上RF MEMS的研究和发展进行了比较全面的综述,并介绍了DMTL移相器,该移相器在DC～30GHz范围内具有较好的线性度,在20GHz时相移为0°/11.6°/32.6°/48.5°,反射损失好于-11dB,插损小于-1.8dB.最后分析了各种移相器的特点和设计、制造的难点,对MEMS移相器的发展进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息学院	180	759	13.0	18.0
2	赵正平		46	197	7.0	12.0
3	吕苗		10	34	4.0	5.0
4	娄建忠	河北工业大学信息学院	25	64	5.0	6.0
6	胡小东		5	27	2.0	5.0