展开式反射镜单元镜支撑技术

• 作者: 任建岳 吴清文 杨近松 段英宏 潘哲 高明辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 展开式反射镜 单元镜 面形精度 支撑结构
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 先进加工制造技术
• 页码范围: 398-401
• 页数: 4页
• 分类号: TP73
• 字数: 1595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.04.008

摘要

基于展开镜结构工作原理,运用有限元方法分析了展开式反射镜单元的裸镜及其支撑方案.目的是确定镜子支撑点数量及排布方式,并具体分析了12-6-1、12-8-1和16-8-1型三种支撑点排布方式,分别计算了各支撑点排布方式下的镜面自重变形.计算结果表明,采用16-8-1型的排布方式较为合理.支撑结构的优化设计是在裸镜支撑点优化位置加入支撑组件综合分析镜坯与支撑组件,以镜面面形误差及结构总体刚度为目标函数,考查、修改支撑组件以保证镜面RMS值在可调节范围(30 μm)内.计算带有支撑组件的单元反射镜在自重作用下的变形,得出的镜面RMS值为16.52 nm,小于1/4波长(632.8 nm),表明将该支撑方案应用于单元镜具有可行性.并提高整个反射镜面的面形质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段英宏		12	165	5.0	12.0
2	吴清文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	115	1040	18.0	24.0
3	任建岳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	127	1431	23.0	31.0
4	杨近松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	19	165	8.0	12.0
5	高明辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	203	7.0	13.0