微通道板离子壁垒膜及其特性

• 作者: 吴奎 姜德龙 富丽晨 李野 王国政 田景全 端木庆铎 高延军
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道板 离子壁垒膜 免污染成膜工艺 死电压 离子透过率
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 737-742
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 3455字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.06.024

摘要

介绍了微光像管中微通道板离子壁垒膜及其形成技术,研究了其粒子(电子和离子)透过特性.给出了死电压概念、死电压曲线、死电压与膜厚关系曲线以及半视场对比测试结果;给出采用X射线光电子能谱(XPS)进行成分分析的结果.介绍了离子壁垒膜的离子透过特性,给出了表征膜层对离子阻止能力的离子透过率的概念,提出了离子透过率测试的原理方案和相关技术等问题.