金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究

• 作者: 夏义本 张明龙 方志军 杨莹 汪琳 沈沪江 王林军
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 红外椭圆偏振光谱 光学参数 有效介质近似
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 2009-2013
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2851字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.06.073

摘要

采用红外椭圆偏振光谱对微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)和热丝化学气相沉积法(HFCVD)制备的金刚石薄膜在红外波长范围(2.5-12.5μn)的光学参数进行了测量.建立了不同的光学模型,且在模型中采用Bruggeman有效介质近似方法综合考虑了薄膜表面和界面的椭偏效应.结果表明,MPCVD金刚石膜的椭偏数据在模型引入了厚度为77.5nm的硅表面氧化层、HFCVD金刚石膜引入879nm粗糙层之后能得到很好的拟合.最后对两种模型下金刚石薄膜的折射率和消光系数进行了计算,表明MPCVD金刚石薄膜的红外光学质量明显优于HFCVD金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张明龙	上海大学材料科学与工程学院	24	165	8.0	11.0
2	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
3	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
4	方志军	上海大学材料科学与工程学院	14	97	6.0	9.0
5	汪琳	上海大学材料科学与工程学院	11	46	5.0	6.0
6	杨莹	上海大学材料科学与工程学院	12	58	5.0	7.0
7	沈沪江	上海大学材料科学与工程学院	4	48	3.0	4.0