反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的研制

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离子辅助沉积 红外高能激光分色镜 YbF3薄膜 激光阈值 光学薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 材料科学与技术
• 页码范围: 254-256
• 页数: 3页
• 分类号: TH703
• 字数: 2031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z2.060

摘要

介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材料ThF4用于制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜取得了较好的效果.同时所研制的分色镜在透射率、反射率,吸收等光学性质,应力硬度牢固度等力学性质,和抗高能激光损伤阈值等方面进行了一系列的测试,基本达到理想的指标.