微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列

• 作者: 张阳 朱鹤孙 江锦春 程文娟
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SiCN 微米棒 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 496-499
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.008

摘要

本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以CH4, H2, N2作为源气体,以Si棒作为Si源,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列.样品的形貌由场发射扫描电子显微镜(SEM)表征分析.用X射线光电子谱(XPS)、Raman散射谱及X射线衍射(XRD)对样品的键合状态及结构进行表征,结果表明,所得到的SiCN薄膜是一具有新的六方结构的三元化合物.