sol-gel法制备锆钛酸钡薄膜的研究

• 作者: 姚熹 张良莹 翟继卫 胡丹
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机陶瓷材料 sol-gel BZT薄膜 烧结温度 介电性能
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 10-12,16
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 3081字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.12.004

摘要

采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba(Zr0.3Ti0.7)O3(BZT)薄膜.对其先体溶液进行了差热与热失重曲线(DSC-TG)分析,并以此来确定了薄膜的热处理工艺.X射线衍射分析表明,550℃时开始有钙钛矿相生成,到600℃时,已经完全形成了钙钛矿结构.采用εr、tgδ的频率和偏压特性曲线研究了不同工艺条件下薄膜的介电性能.经过700℃热处理,薄膜在10 kHz频率,300 K温度测试条件下,相对介电常数为385,介质损耗为0.022;±200×103 V/cm电场条件下薄膜介电可调率为25.6%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	同济大学功能材料研究所	123	956	16.0	21.0
2	胡丹	同济大学功能材料研究所	16	51	5.0	6.0
3	张良莹	同济大学功能材料研究所	81	658	13.0	19.0
4	翟继卫	同济大学功能材料研究所	35	241	9.0	13.0