电子陶瓷薄膜材料的集成及应用

• 作者: 姜胜林 张道礼 徐建梅 赵岚
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子陶瓷 集成 微电子器件 薄膜材料
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 电子陶瓷
• 页码范围: 13-17
• 页数: 5页
• 分类号: TM28|TQ174
• 字数: 5765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.03.005

摘要

阐述了近几年来国内外关于电子陶瓷材料的集成研究状况及发展趋势,指出了电子陶瓷薄膜材料的产品在诸多领域的重要应用.对电子陶瓷材料与微电子器件的集成,以及电子陶瓷在微传感器和MEMS中的应用情况作了重点介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐建梅	华中科技大学电子科学与技术系	18	293	5.0	17.0
3	姜胜林	华中科技大学电子科学与技术系	101	727	15.0	21.0
4	张道礼	华中科技大学电子科学与技术系	33	158	7.0	10.0
7	赵岚	华中科技大学电子科学与技术系	6	19	3.0	3.0