MEMS技术在光纤通信系统中的应用

• 作者: 方新 杨秀芸
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 可调谐激光器 光开关 光互连器
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 119-121
• 页数: 3页
• 分类号: TH16|TN91
• 字数: 2457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2004.12.051

摘要

微电子机械系统(MEMS)是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统.目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问题.简述了微电子机械系统技术的基础概念、所用材料、加工工艺等;并重点综述了该技术在光纤通信系统中的广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨秀芸	北京城市学院理工学部	11	107	6.0	10.0
2	方新	北京联合大学机械工程学院	12	62	4.0	7.0