纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究

• 作者: 李昕欣 杨尊先 程保罗
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成化 纳米探针 硅 纳机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 3247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.01.025

摘要

给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件.该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖集成于在同一超薄微细悬臂梁,通过楔形开孔的机械切断,避免了加热电阻器高温处的PN结在高温下失去电隔离作用.室温下测得该器件加热电阻器的阻值为500～600Ω,压阻式传感器的力敏电阻器的阻值为6～8kΩ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣		15	139	7.0	11.0
2	杨尊先		1	3	1.0	1.0
3	程保罗	浙江大学信息与电子工程学系	1	3	1.0	1.0