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薄膜测量
薄膜测量
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摘要：
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同位素薄膜厚度在线测量系统
同位素
薄膜厚度
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薄膜应力测量方法及影响因素研究进展
薄膜应力
应力测量
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光机电信息
主办单位：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1007-1180
CN：
22-1250/TH
开本：
大16开
出版地：
吉林省长春市
邮发代号：
12-171
创刊时间：
1958
语种：
chi
出版文献量（篇）
2287
总下载数（次）
1
总被引数（次）
7000
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