倾斜下电极式MOEMS光开关阵列的光路分析及准直技术研究

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS 光开关 插损 凸角补偿 球透镜
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 光电子技术与器件
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN929.1
• 字数: 1710字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z2.013

摘要

从高斯光束的传输理论出发,对8×8 MOEMS阵列光开关的光路进行了分析.这种光开关的反射镜尺寸与插入损耗(简称插损)密切相关.为了降低插损并且达到准直长度的要求,对相关参数进行了优化选择.此外,开关中光纤、球透镜以及微反射镜之间的位置及角度偏移均会使插损大大增加,采用自对准技术和凸角补偿方法可以有效提高各个器件之间的对准效果,降低插损[1].