基于宽光谱监控的光学薄膜自动控制技术

• 作者: 卢维强 张诚 王涌天
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 自动控制 宽光谱监控 膜厚监控 在线监控 光学薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 1136-1139
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2869字
• 语种: 中文

摘要

单波长监控很难精确控制宽波段上的光学特性.若采用宽光谱扫描可以在很宽的波长范围内监控薄膜特性,则控制既直观又准确.虽然宽光谱监控的思想很早就提出了,但这项技术的实用性一直不高.开发了一套宽光谱监控系统,使用线阵CCD配合计算机,可以实现光谱快速扫描.通过采用一些特殊的方法,系统可以达到较高的精度.配合改进的光学薄膜监控软件,可以满足基于宽光谱监控的自动控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王涌天	北京理工大学信息工程学院光电工程系	183	2866	31.0	46.0
2	卢维强	北京理工大学信息工程学院光电工程系	16	105	6.0	10.0
3	张诚	北京理工大学信息工程学院光电工程系	16	243	8.0	15.0