静电驱动悬臂梁数模转换器设计、分析与模拟

• 作者: 王立峰 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 微执行器 非线性误差 数模转换器
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 697-701
• 页数: 5页
• 分类号: TN722.51
• 字数: 3756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.06.016

摘要

提出了一种新型的微电子机械数模转换器(MEMDAC)--静电驱动悬臂梁数模转换器.与传统的静电驱动悬臂梁执行器相比,新的结构能更精确地控制梁的挠度.文中给出了此MEMDAC的设计、分析和模拟过程.有限元(FEA)分析表明此MEMDAC的最大输出位移为1.51μm,分辨率为0.1μm,其最大非线性误差为0.03μm.