准分子激光微细加工微锥体的旋转抛磨加工法

• 作者: 左铁钏 张瑜 殷伯华 陈涛
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 质谱分离 准分子激光 微加工 研磨
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 机械加工与自动化
• 页码范围: 23-24
• 页数: 2页
• 分类号: TG4
• 字数: 1881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2004.02.009

摘要

介绍了一种采用准分子激光进行微细加工微锥体技术的新方法,并利用该方法在有机玻璃上制作质谱分离芯片电喷尖的实验.该方法借鉴了传统机械加工中车削的概念,但实质上依靠非接触的激光冷加工技术实现,是一种以准分子激光刻蚀(加工)与激光辐射方向垂直的旋转轴(工件)的抛磨加工法.该方法可主要用于圆柱体,圆锥体等轴对称三维微细结构的精密加工及微器件表面质量的优化.解决了对于微小器件表面进行抛光的难题,简化了利用准分子激光对轴对称工件的加工过程,提高了加工精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左铁钏	北京工业大学激光工程研究院	155	2041	26.0	36.0
2	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
3	殷伯华	北京工业大学激光工程研究院	3	9	2.0	3.0
4	张瑜	北京工业大学激光工程研究院	5	28	3.0	5.0