大面积取向生长碳纳米管的ECR-CVD方法制备与表征

• 作者: 刘飞 巴德纯 庞世谨 曹培江 杨天中 王志 顾有松
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: ECR-CVD 取向生长 碳纳米管 纳米粒子
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 385-388
• 页数: 4页
• 分类号: TB383|O614.81
• 字数: 2581字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.05.016

摘要

本文采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以CH4和H2为气源、Fe3O4 纳米粒子为催化剂,未加电场,在多孔硅基底上制备出大面积取向生长碳纳米管.使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)、X射线能量色散分析(EDX)对样品形貌和结构进行表征.结果显示:合成的碳纳米管为多壁碳管;碳纳米管直径60 nm～90 nm,长度约8 μm;碳纳米管展现出中空管状和链状两种结构;碳纳米管的生长采取催化剂底端生长模式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学真空与流体工程研究中心	250	1491	18.0	22.0
2	顾有松		32	162	7.0	10.0
3	刘飞	中国科学院物理研究所	71	509	12.0	19.0
4	王志	东北大学真空与流体工程研究中心	115	552	12.0	18.0
8	曹培江	中国科学院物理研究所	5	11	2.0	3.0
9	杨天中	中国科学院物理研究所	3	26	2.0	3.0
10	庞世谨	中国科学院物理研究所	4	6	1.0	2.0