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摘要:
介绍纳米科技几个主要方面的最新研究进展:纳米级精度的测量;扫描隧道显微镜和原子力显微镜;超精密加工和原子级加工;纳米材料;微型机械和微型机电系统;微型机械的制造等.
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纳米科学技术的新进展
纳米科学技术
纳米材料
纳米电子学
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 纳米科学和技术的新进展
来源期刊 工具技术 学科
关键词 纳米科技 SPM 纳米材料 微型机电系统
年,卷(期) 2004,(9) 所属期刊栏目 特稿
研究方向 页码范围 3-12,26
页数 11页 分类号
字数 8871字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-7008.2004.09.001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 袁哲俊 72 1481 23.0 36.0
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研究主题发展历程
节点文献
纳米科技
SPM
纳米材料
微型机电系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工具技术
月刊
1000-7008
51-1271/TH
大16开
成都市府青路二段24号
62-32
1964
chi
出版文献量(篇)
9497
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13
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