少数载流子寿命横向非均匀分布的快恢复二极管特性

• 作者: 廖天康 游志朴 潘飞蹊 黄林
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 少数载流子寿命 VF-trr兼容特性 反向漏电流 trr-T稳定特性
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 297-301
• 页数: 5页
• 分类号: TN32
• 字数: 2926字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.03.012

摘要

提出了一种快恢复二极管新结构:少数载流子寿命横向非均匀分布(minority-carrier life time lateral non-uniform distribution,MLD)结构.利用普通的p+nn+二极管芯片,通过掩蔽扩散选择性地掺入深能级杂质,制备出了掺Au、Pt的MLD快恢复二极管.测试结果表明,虽然这种快恢复二极管正向压降-反恢时间兼容特性略差,且反向漏电流较大,但是具有十分良好的反恢时间-温度的稳定特性,可以用于对反恢时间变化要求严格的领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘飞蹊	电子科技大学微电子所	5	58	4.0	5.0
2	黄林	四川大学物理系	16	46	4.0	6.0
3	廖天康	四川大学物理系	1	3	1.0	1.0
4	游志朴	四川大学物理系	4	4	1.0	2.0