正压漏孔校准装置的研制

• 作者: 唐景远 王金锁 胡央丽 许红
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 正压漏孔 系统总误差 漏率
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 439-441
• 页数: 3页
• 分类号: TB774
• 字数: 2138字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.06.011

摘要

作者对正压漏孔校准方法作了研究,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准,建立了一套改进型的PΔV/t漏孔校准装置,并对该装置进行了不确定度的分析.该装置校准范围1×10-4 Pa m3/s～1×10-7 Pa m3/s,在漏率2×10-6 Pa m3/s时系统总误差小于4.0%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许红		5	18	2.0	4.0
2	胡央丽		6	16	2.0	3.0
3	唐景远		2	9	1.0	2.0
4	王金锁		1	9	1.0	1.0