复合钝化膜刻蚀工艺的探讨

• 作者: 唐晓颖 路连
• 来源期刊: 林业机械与木工设备
• 关键词: 钝化膜 等离子 刻蚀工艺 温度控制
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 生产工艺
• 页码范围: 45-46
• 页数: 2页
• 分类号: TG1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-2953.2004.11.018

摘要

针对复合钝化膜刻蚀均匀性差的问题,提出改进光刻工艺,通过温度控制提高复合钝化膜刻蚀均匀性的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路连		6	13	3.0	3.0
2	唐晓颖		2	0	0.0	0.0