微结构气体传感器的加热器设计与模拟

• 作者: 张彤 徐宝琨 李春明 杨广立
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基 气体传感器 微加热器 有限元分析 温度分布
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器--第八届敏感元件与传感器学术会议论文选登
• 页码范围: 12-13
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 字数: 966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2004.05.004

摘要

利用有限元分析工具ANSYS,对所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟.运用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型,采用8节点等参数热单元solid70进行了分析.根据器件工作时需要的加热功率,设计了这种硅基气体传感器衬底微加热器的尺寸,确立了对流和环境温度等边界条件,从而达到气体传感器衬底的温度场分布均匀的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李春明	吉林大学电子科学与工程学院	8	27	3.0	5.0
2	张彤	吉林大学电子科学与工程学院	40	218	8.0	13.0
4	徐宝琨	吉林大学电子科学与工程学院	37	616	8.0	24.0
7	杨广立	吉林大学电子科学与工程学院	2	16	2.0	2.0