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先进的65nm及更小规格的Cu CMP平台
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摘要：
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期刊影响力
仪表技术
主办单位：
上海仪器仪表研究所
上海市仪器仪表学会
中国仪器仪表学会汉字信息处理系统研究会
出版周期：
月刊
ISSN：
1006-2394
CN：
31-1266/TH
开本：
大16开
出版地：
上海市
邮发代号：
4-351
创刊时间：
1972
语种：
chi
出版文献量（篇）
4081
总下载数（次）
14
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