溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征

• 作者: 刘坤 叶志镇 季振国 宋永梁 杨成兴 王超
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 光致发光 溶胶-凝胶法 旋涂
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: O434
• 字数: 1976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.01.010

摘要

采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用光致发光谱分析了经过500～700℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下有较强的紫外带边发射,但当热处理温度高于700℃时,可见光波段发射明显增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	刘坤	浙江大学硅材料国家重点实验室	12	201	6.0	12.0
3	王超	浙江大学硅材料国家重点实验室	77	1026	15.0	30.0
4	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
5	宋永梁	浙江大学硅材料国家重点实验室	6	138	5.0	6.0
6	杨成兴	浙江大学硅材料国家重点实验室	4	91	3.0	4.0