用原子力显微镜测量光盘的凹坑形貌

• 作者: 景蔚萱 蒋庄德
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 光盘 凹坑长度 凹坑深度 侧壁角度
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TQ59
• 字数: 2277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2004.03.009

摘要

本文首先介绍了原子力显微镜(AFM)的特点和影响光盘播放质量的主要参数,其次用AFM对光盘上记录信息用的凹坑深度、凹坑长度和侧壁角度等关键参数进行了测量,并对测量结果进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	景蔚萱	西安交通大学精密工程研究所	17	72	5.0	7.0