ZnO纳米岛的MOCVD自组装生长

• 作者: 刘伟 叶建东 周昕 张荣 施毅 朱顺明 秦锋 胡立群 郑有炓 顾书林
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO纳米岛 金属有机源化学气相沉积 光致发光谱 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 804-808
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 1891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.07.012

摘要

利用低压金属有机源气相沉积(LP-MOCVD)技术,在 (0001)蓝宝石衬底上生长ZnO纳米岛,发现在适当的生长条件下,可以生长出规则排列的纳米岛.实验发现随着生长时间的增加,在蓝宝石衬底上沉积的ZnO晶体颗粒无论是密度还是体积都在增加,并出现颗粒之间的交叠现象.与厚膜材料相比,相应的室温PL谱上显示出带边蓝移现象,随着生长温度的提高将大大增加ZnO在蓝宝石衬底上成核的困难.另外,所有样品的室温PL谱在带边附近均存在一个展宽峰,这可能是由表面态或晶体缺陷造成的.研究表明选择合适的生长时间与生长温度是利用MOCVD生长高质量ZnO纳米岛的关键因素之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施毅	南京大学物理系	103	490	13.0	17.0
2	刘伟	南京大学物理系	61	716	15.0	25.0
3	郑有炓	南京大学物理系	78	353	11.0	15.0
4	朱顺明	南京大学物理系	20	72	5.0	7.0
5	周昕	南京大学物理系	2	31	2.0	2.0
6	顾书林	南京大学物理系	46	261	9.0	14.0
7	叶建东	南京大学物理系	11	57	5.0	7.0
8	秦锋	南京大学物理系	2	15	1.0	2.0
9	胡立群	南京大学物理系	13	49	4.0	6.0
10	张荣	南京大学物理系	134	576	13.0	17.0