基准离焦偏差控制技术

• 作者: 梁宜勇
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写系统 针孔调焦法 激光光刻 基准离焦量
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 光电控制
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2666字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.01.013

摘要

一种新的采用基准离焦信号的针孔调焦方案,用于激光直写的自动对焦子系统.通过在离焦曲线上提取参考离焦信号,建立基准离焦判据,它能容易地区分前离焦或后离焦,有效地克服了原有针孔调焦方案难于根据离焦信号来分辨离焦方向的弱点.借助微处理器和模拟电路实现了这一方案,并因此获得了均匀的1μm线宽的线条.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁宜勇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	38	190	8.0	12.0