负偏压形核法增强金刚石薄膜附着力研究

• 作者: 康志成 汪建华 满卫东 王传新 王升高 王涛 马志斌
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 附着力 WC-Co硬质合金 偏压
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TG4
• 字数: 1582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2004.01.013

摘要

在微波等离子体化学气相沉积装置中,研究了负偏压形核对金刚石薄膜与WC-6%硬质合金刀具附着力的影响.结果表明,负偏压形核不仅能增加金刚石的核密度,还能改善金刚石核在WC晶粒上分布的均匀性,增加膜基有效结合面积,从而增加金刚石薄膜附着力.因负偏压形核时含碳离子被偏压电场加速,对刀具表面产生溅射作用,采用铜替代置换钴的刀具,使用负偏压形核反而降低薄膜附着力;而采用磁控溅射镀铜的刀具,使用负偏压形核则能进一步提高金刚石薄膜的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华		57	613	12.0	20.0
2	满卫东	中国科学院等离子体物理研究所	12	309	8.0	12.0
4	马志斌		24	335	9.0	17.0
7	王传新	中国科学院等离子体物理研究所	14	340	9.0	14.0
9	康志成	中国科学院等离子体物理研究所	4	54	4.0	4.0
10	王升高	中国科学院等离子体物理研究所	19	186	7.0	12.0
16	王涛		1	13	1.0	1.0