用PCVD法在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AlN薄膜的研究

• 作者: 吴新杰 张细菊 潘应君 陈淑花
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体化学气相沉积 AlN薄膜 不锈钢 耐蚀性
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2140字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2004.12.007

摘要

采用等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,以AlCl3作铝源在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AlN薄膜,探讨了不同沉积时间和温度对薄膜硬度的影响,并对AlN薄膜的耐蚀性进行了研究.试验结果表明,经500～550℃沉积4h,可以在不锈钢表面得到组织致密的AlN薄膜,其显微硬度最高可达1750HV0.025,在HCl溶液中的耐蚀性超过未镀膜的1Cr18Ni9不锈钢.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘应君	武汉科技大学材料与冶金学院	72	522	12.0	19.0
2	吴新杰	武汉科技大学材料与冶金学院	22	234	9.0	14.0
3	张细菊	武汉科技大学材料与冶金学院	21	219	10.0	14.0
4	陈淑花	武汉科技大学材料与冶金学院	5	80	4.0	5.0