溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比

• 作者: 任思雨 刘玉华 孙汪典 王英连
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 50-52,56
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2004.11.012

摘要

分别对溶胶-凝胶法和磁控溅射法制备ZnO进行了详细的介绍,并借助X射线衍射、原子力显微镜、拉曼光谱分析、紫外吸收等检测手段对这两种方法生长的薄膜进行了分析比较.分析显示:相同石英基底,相同退火温度下生长ZnO薄膜,磁控溅射法生长的ZnO薄膜要比溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜有更优异的c轴取向特性,生长的薄膜结晶更加均匀、致密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙汪典	暨南大学物理系	26	280	9.0	16.0
2	王英连	暨南大学物理系	8	103	6.0	8.0
3	任思雨	暨南大学物理系	5	39	4.0	5.0
4	刘玉华	暨南大学物理系	3	21	2.0	3.0